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影響化學(xué)氣相沉積法生產(chǎn)鍍膜玻璃質(zhì)量的因素

文章出處：人氣：-發(fā)表時(shí)間：2022-10-15 09:10【大中小】

　　1.安裝鍍膜反應(yīng)器處的玻璃溫度。溫度低，膜層薄;溫度過(guò)高，沉積速率過(guò)慢，膜層稀疏，甚至出現(xiàn)針孔或氣泡，溫度合適時(shí)膜層質(zhì)量最好。其原因是高溫時(shí)沉積速率對(duì)溫度不敏感，而在溫度適當(dāng)時(shí)，沉積速率大增;低溫時(shí)，沉積速率又下降。

　　2.玻璃的拉引速度。玻璃拉引速度波動(dòng)，會(huì)造成膜層厚度的波動(dòng)，使膜層薄厚不均。為此，玻璃的拉引速度要控制平穩(wěn)。

　　3.反應(yīng)副產(chǎn)物及未反應(yīng)物要及時(shí)排出，但排出速度要合理。排出速度過(guò)大，影響氣體物質(zhì)在玻璃基片表面不能形成穩(wěn)定的層流，造成膜層厚度不均，甚至不能成膜;當(dāng)排出速度過(guò)小或沒有及時(shí)排除，反應(yīng)副產(chǎn)物及未反應(yīng)物將分解生成顆粒狀物質(zhì)沉積在膜面上，造成瑕疵。

　　目前化學(xué)沉積法工業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品，只開(kāi)發(fā)利用在浮法玻璃上覆蓋一層牢固的My物質(zhì)膜層，在理論上及技術(shù)上，在浮法玻璃上預先覆蓋一層具有某種功能的膜層，然後再覆蓋一層My物質(zhì)膜層，這是完全可能的，這樣，化學(xué)沉積法就可生產(chǎn)出品種多樣、性能獨(dú)特、功能各異的新穎產(chǎn)品，前景廣(guǎng)闊。

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