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鍍膜玻璃生產(chǎn)原理

文章出處：人氣：-發(fā)表時(shí)間：2022-12-16 09:48【大中小】

　　鍍膜玻璃生產(chǎn)技術(shù)目前我國(guó)實(shí)際生產(chǎn)當(dāng)中，幾乎所有鍍膜膜方法都可以生產(chǎn)陽光控制鍍膜玻璃，以其他如真空蒸鍍法、主要以在線(xiàn )CVD工藝方法和磁控濺射工藝方法兩(liǎng)種為主，這主要介紹採用在線(xiàn )CVD工藝生產(chǎn)矽質(zhì)膜玻璃。

　　鍍膜玻璃生產(chǎn)原理

　　在線(xiàn )CVD製備矽質(zhì)膜技術(shù)是以矽烷、乙烯為原料，浮法錫槽為製備矽質(zhì)膜提供了適合的溫度和還原性氣氛。矽烷、乙烯和氮氣按一定的比例進(jìn)人安置在玻璃板上面的反應(yīng)器，並以穩(wěn)定的層流方式流過(guò)玻璃板表面，這時(shí)，矽烷藉助反應(yīng)器的特殊結(jié)構(gòu )，並在還原氣氛的條件下，溫度超過(guò)400C時(shí)開(kāi)始分解，形成的產(chǎn)物是無(wú)定形矽，當(dāng)溫度超過(guò)600C時(shí)，形成多晶矽。多晶矽沉積在玻璃表面形成矽質(zhì)膜層，同時(shí)矽烷反應(yīng)後產(chǎn)生的氫被乙烯吸附，生成乙烷和甲烷。這些多餘氣體和呈褐色的多餘矽質(zhì)粉一起從反應(yīng)器兩(liǎng)側的排氣孔排走

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