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加熱清洗玻璃方法的操作過(guò)程

文章出處：人氣：-發(fā)表時(shí)間：2022-08-26 09:44【大中小】

　　將襯底放置於真空中會(huì)促使揮發(fā)雜質(zhì)的蒸發(fā)。這種方法的效果與襯底在真空中保留時(shí)間的長(zhǎng)短、溫度、汙染物的類(lèi)型及襯底材料有關(guān)。在室溫高真空條件下，局部壓力對(duì)解吸的影響是可以忽略的，解吸是由加熱產(chǎn)生的。加熱玻璃表面促使吸附的水分子和各種碳氫化合物分子的解吸作用有不同程度的增加，這與溫度有關(guān)。外加溫度在100~850C，需要加熱的時(shí)間在10~60min。在超高真空下，為了得到原子級(jí)清潔表面，加熱溫度必須高於450C才行。對(duì)於較高溫度襯底上澱積膜(製備特殊性質(zhì)的膜)的情形，加熱清洗特別有效。但是由於加熱的結(jié)果，也就會(huì)發(fā)生某些碳氫化合物聚合成較大的團(tuán)粒，並同時(shí)分解成炭渣。然而高溫火焰處理(如氫-空氣火焰)效果很好，雖然這個(gè)過(guò)程中表面溫度僅約100C，火焰中存在著各種離子、雜質(zhì)及高熱能分子。-般認(rèn)為，火焰的清潔作用與一種輝光放電作用相類(lèi)似，在輝光放電中，離子化的高能粒子撞擊待清潔表面。

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