鍍膜玻璃真空室壓力對(duì)膜層的影響
的跑驚時(shí)時(shí),真空室內(nèi)殘餘氣體分子中,燕氣分子的平均自由程大於蒸發(fā)展與基片的距寒時(shí),就會(huì)獲得充分的便服條件。因此,把真空室抽成兩(liǎng)其空,頂少現(xiàn)示氣體的分子數(shù)、增大殘餘氣體分子的平均自由程,使得蒸氣分子與殘餘氣體分子的碰撞機(jī)會(huì)減少,這是非常必要的。
當(dāng)真空度提高時(shí),蒸氣分子從蒸發(fā)源到基片的過(guò)程中,與殘餘分子碰撞的概率下降。因此,真空鍍鋁時(shí)在6X 10-2Pa以上能形成良好的膜層。當(dāng)真空度低時(shí),會(huì)出現(xiàn)下述兩(liǎng)種情況:
①基片表面吸附著許多殘餘氣體分子,當(dāng)蒸發(fā)材料的蒸氣分子到達(dá)基片之後,在基片表面殘餘氣體分子與蒸發(fā)材料的蒸氣分子將產(chǎn)生化合作用,所形成的化合物影響膜的質(zhì)量。
②蒸發(fā)材料的蒸氣分子到達(dá)基片表面的過(guò)程中與殘餘氣體分子發(fā)生碰撞的概率增加,使得蒸發(fā)材料蒸氣分子消耗大量的動(dòng)能,以致達(dá)不到基片表面,即使到達(dá)基片表面,其吸附性能也會(huì)大大降低。因此膜層鬆散無(wú)力,嚴(yán)重時(shí)出現(xiàn)粉末狀的附著,一擦即脫落。在實(shí)際生產(chǎn)中觀(guān)察到,真空室的真空度低於10--Pa時(shí),鋁膜呈灰色,其附著力降低,當(dāng)真空度更低時(shí),鋁膜呈黑色,附著力很低。
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